【功能特点】

全球唯一可实现原位3D折射率分布成像表征的微纳加工系统。

【需求与挑战】

传统的激光微纳加工系统中，加工和表征是分离的。用户需要将加工好的样品取下进行表征，了解加工质量和改进方向，然后进一步优化。这个过程步骤多，时间长，而且不容易实现表征结果与加工参数的一一对应。同时，在光学晶体材料中加工三维光波导结构，了解激光加工所引入的折射率差尤为重要，因为关乎波导的设计和损耗。然而，目前尚无别的方法可以直接表征所加工的结构的折射率差的三维空间分布。而目前的解决方法是通过大量的优化和检查寻找所需的加工参数。这个过程耗时长，困难大。而且所优化的参数可能不是整个加工所能实现的最优区间，这极大的取决于用户的经验和能力。

【Innofocus产品优势】

针对以上问题，Innofocus首次实现了原位的三维折射率表征系统，可以通过原位检测实现三维折射率成像，帮助用户取得折射率随激光加工参数变化的定量数据。用户可以使用该数据进行设计和模拟所需要加工的三维光波导结构，实现全局最优的波导加工。同时，原位表征避免了传统表征所需要取下样品-表征-重新安装寻找加工区域-优化加工参数-再表征的耗时循环迭代的过程，用户可以在加工样品的同时原位表征和优化加工结果，大大减少了优化步骤和时间，可以在一次加工中直接取得最优结果。为三维光波导和光子芯片的加工制作提供了前所未有的便利，为激光微纳加工在光通信和全光网络和量子光学的产业化应用保驾护航。