精密运动控制系统被广泛应用于精密加工、精密测量、科学研究等领域。比利时LAB公司专注于为高端检测类用户、高端加工类用户、科研类客户提供整体定制化的运动控制解决方案。
▪ 激光加工
比利时LAB有专门的的激光切割方案,包含控制、运动系统、以及激光器。其激光切割方案的主要特点包括:
1) 切割行程长达2000mm * 2000mm,速度2m/秒
2) 全行程切割精度< 2µm
3) 各种形状切割包括curved, straight, perpendicular, angled lines, holes, slots, etc
4) 切割厚度从 < 50µm 到 12mm
5) 自动脱离方案可选
6) 切割后崩边chipping size <5 µm7) pulse on demand
LAB公司近期推出了5轴联动的激光微加工全套解决方案,如下。图形化的用户操作界面,省去了繁琐的软件二次开发步骤和成本,确保用户可以轻松的实现纳米级别的激光加工。
▪ 半导体检测
LAB的纳米精度运动控制系统广泛应用于半导体行业,其主要客户包括ASML、IMEC、Samsung、ZEISS Semiconductor等。下图提到的气浮龙门系统为半导体用户确保核心组件的平面度 (Flatness)低于100nm。
▪ 科学研究
科研行业是LAB公司自成立之初就紧密合作的重点行业,主要客户包括全球各大主要同步辐射光源以及大学研究所等。下图为欧洲同步辐射光源ESRF通过LAB的运动控制产品做新冠方面的研究。
下图为LAB为德国Fraunhofer提供的X-Ray检测平台
LAB Motion Systems公司2005年成立于比利时著名的大学城鲁汶,是天主教鲁汶大学的分离公司,公司的全称是Leuven Air Bearings NV。LAB是全球领先的气浮运动控制系统提供商,公司为用户提供基于气浮轴承技术的纳米精度运动控制