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精密运动控制解决方案
来源: | 作者:覃斌 | 发布时间: 2022-09-17 | 2430 次浏览 | 分享到:

广LAB

  
LAB
1) 2000mm * 2000mm2m/
2) < 2µm
3) curved, straight, perpendicular, angled lines, holes, slots, etc
4)  < 50µm  12mm
5) 
6) chipping size <5 µm7) pulse on demand



L
AB5



  
LAB广ASMLIMECSamsungZEISS Semiconductor (Flatness)100nm


  




  
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