飞秒综合加工平台

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飞秒综合加工平台

属分类：光电自动化>> 超快加工

关键词：微纳加工，激光直写，3D打印

电话：010 - 59780025

邮箱：sales@topphotonics.cn

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商品描述

属分类：光电自动化>> 超快加工

关键词：微纳加工，激光直写，3D打印

电话：010 - 59780025

邮箱：sales@topphotonics.cn

产品简介
飞秒激光三维微纳打印系统基于多光子吸收的工作原理，实现了超光学衍射极限的加工分辨率。该系统可以针对聚合物、玻璃、晶体、半导体、二维材料、金属等多种材料进行三维结构加工；分辨率可达到150~200nm；定位精度小于50nm；针对二维材料，该系统具有自动表面追踪功能；具有原位表征功能，便于发现加工过程中的新现象；具有并行打印功能，大大提高了加工速度。该飞秒激光三维微纳打印系统为科研领域提供了更多新的可能性。

主要性质
▪ 可实现多个不同材料平台的器件加工

▪ 自动实时表面追踪功能

带表面追踪的加工结果

无表面追踪的加工结果

▪ 多光路并行加工功能

单焦点

多焦点

▪ 相差校正功能

补偿前

补偿后

主要应用
▪ 微纳光学、光通信、二维材料、微机械、微流控、仿生技术、细胞生物支架等应用领域。

在玻璃内加工的光波导结构

光波导折射率差表征

二维材料光学器件

引用：Zheng, X.; Jia, B.; Lin, H.; Qiu, L.; Li, D.; Gu, M. Highly efficient and ultra-broadband graphene oxide ultrathin lenses with three-dimensional

金属结构加工，实现超材料结构

引用：Tabrizi, Sahar, Yaoyu Cao, Benjamin P. Cumming, Baohua Jia, and Min Gu. "Functional optical plasmonic resonators fabricated via

参数指标

型号	STANDARD	PREMIUM	ULTIMATE
激光波长、脉宽、重频	515/1030nm ~400fs 25kHz~5MHz	515/1030nm ~400fs 25kHz~5MHz	515/1030nm ~400fs 25kHz~5MHz
激光功率	>200mW	>1W	>10W
分辨率	150~200nm	150~200nm	150~200nm
定位精度	300nm	50nm	50nm
最大加工范围	25mm×25mm	100mm×100mm	100mm×100mm
光学成像	CCD	CCD	CCD
相差补偿（写得更精确）	-	-	√ SLM相差补偿
对称性精度（写得更强）	√	√	√
平行加工（高速打印）	-	-	√
自主表面识别与聚焦	-	√	√
软件	Nanoprint	Nanoprint	Nanoprint
加工光场模拟	可选	可选	可选
原位表征	可选	可选	定制化需求：拉曼光谱；荧光光谱；荧光寿命测试； 3D折射率表征