产品简介
飞秒激光三维微纳打印系统基于多光子吸收的工作原理，实现了超光学衍射极限的加工分辨率。该系统可以针对聚合物、玻璃、晶体、半导体、二维材料、金属等多种材料进行三维结构加工；分辨率可达到150~200nm；定位精度小于50nm；针对二维材料，该系统具有自动表面追踪功能；具有原位表征功能，便于发现加工过程中的新现象；具有并行打印功能，大大提高了加工速度。该飞秒激光三维微纳打印系统为科研领域提供了更多新的可能性。
主要性质
▪ 可实现多个不同材料平台的器件加工
▪ 自动实时表面追踪功能
|
带表面追踪的加工结果
| 
无表面追踪的加工结果
|
▪ 多光路并行加工功能
单焦点
|
| 
多焦点
|
▪ 相差校正功能
补偿前
| 
补偿后
|
主要应用
▪ 微纳光学、光通信、二维材料、微机械、微流控、仿生技术、细胞生物支架等应用领域。
| 二维材料光学器件
引用：Zheng,
X.; Jia, B.; Lin, H.; Qiu, L.; Li, D.; Gu, M. Highly efficient and ultra-broadband graphene
oxide ultrathin lenses with three-dimensional
|
| 金属结构加工，实现超材料结构
引用：Tabrizi,
Sahar, Yaoyu Cao, Benjamin P. Cumming, Baohua Jia, and Min Gu. "Functional
optical plasmonic resonators fabricated via
|
参数指标
型号
| STANDARD
| PREMIUM
| ULTIMATE
|
激光波长、脉宽、重频
| 515/1030nm
~400fs
25kHz~5MHz
| 515/1030nm
~400fs
25kHz~5MHz
| 515/1030nm
~400fs
25kHz~5MHz
|
激光功率
| >200mW
| >1W
| >10W
|
分辨率
| 150~200nm
| 150~200nm
| 150~200nm
|
定位精度
| 300nm
| 50nm
| 50nm
|
最大加工范围
| 25mm×25mm
| 100mm×100mm
| 100mm×100mm
|
光学成像
| CCD
| CCD
| CCD
|
相差补偿（写得更精确）
|
-
|
-
| √
SLM相差补偿
|
对称性精度（写得更强）
| √
| √
| √
|
平行加工（高速打印）
| -
| -
| √
|
自主表面识别与聚焦
| -
| √
|
√
|
软件
| Nanoprint
| Nanoprint
| Nanoprint
|
加工光场模拟
| 可选
| 可选
| 可选
|
原位表征
| 可选
| 可选
| 定制化需求：
拉曼光谱；
荧光光谱；
荧光寿命测试；
3D折射率表征
|
