产品简介
滨松的LDLS™ 宽光谱高亮度光源是一种激光驱动白光光源，综合了单点光源的多个优点：
▪ 宽光谱：170nm~2500nm
▪ 超高亮度/辉度
▪ 超长寿命，超高稳定性
▪ 符合全球晶圆代工厂的工业标准
▪ 高可靠性保证365天不停歇的工作
主要应用
▪ 半导体量测与检测
▪ 光纤与光学元件检测
▪ 光谱仪，单色光源
▪ 生命科学&生物成像
▪ 材料表征&薄膜监控
▪ 光学传感器测试
光谱图
参数指标
型号 | EQ-99X | EQ-99XFC | EQ-77 | EQ-400 |
波长范围 | 170nm-2500nm | 190nm-2500nm | 170-2500nm | 170-2500nm |
等离子体尺寸 | 100um×180um | 100um×180um | 125um×320um | 370um×800um |
数值孔径NA | 0.47 | 0.22 | 0.5 | 0.5 |
寿命 | 10000 hours | 10000 hours | 10000 hours | 10000 hours |
等离子体到窗口距离 | 28mm | - | 18mm | 28mm |
光学接口 | 发散光束 | 光纤耦合输出 | 发散光束具有反射器 | 发散光束具有反射器 |
宽谱光功率 | ~0.75W | ~95mW | ~2.75W | ~15W |
光谱辐射@500nm | 25 mW/mm2.sr.nm | NA | 75mW/mm2.sr.nm | 110mW/mm2.sr.nm |
灯室尺寸 | 84×78×87mm | 84×78×87mm | 128×207×95mm | 137×146×133mm |
灯室重量 | 0.7kg | 0.7kg | 2.2kg | 2.7kg |
控制器尺寸 | 106×113×302mm | 106×113×302mm | 157×251×133mm | 134×483×538mm |
控制器重量 | 1.4kg | 1.4kg | 2.9kg | 18.8kg |
冷却 | 无需额外冷却 | 无需额外冷却 | 灯室：>0.5L/min，18-30℃，0.69MPa | 灯室：>1L/min，18-30℃ 控制器：3-4L/min，18-24℃ |
氮气净化 | 需要 | 需要 | 需要 | 需要 |
