产品简介
eryon采用先进Crossfixx™超声波压电技术，可以达到每秒200 mm的行进速度，使该精密线性位移台成为市场上最快的压电精密位移台。
超声波压电技术特点：
▪ 速度快：200mm/s
▪ 寿命长：>100km
▪ 噪声小：<50dBa
▪ 精度高：1nm~1.25μm
▪ 无振动
▪ 防震自锁
1、精密线性位移平台
主要特点：
▪ 长度：30mm~120mm
▪ 精度：1.25μm/312nm/78nm/5nm/1nm
▪ 可用于高真空环境
型号选择
类型 | 长度（mm） | 编码器分辨率（nm） | 可选 |
高真空兼容性 （10-9mbar） | 低/无磁性 | 短臂（为了增加行程） |
XLS-1 | -30 | -OPEN | -HV | -LM/-NM | -SC |
-1250 |
-312 |
-78 |
-5 |
-1 |
-40 | 与XLS-1-30 一样 |
-50 |
-60 |
-70 |
-80 |
-100 |
-120 |
XLS-1/XLS-3性能
分辨率 | 单位 | -OPEN | -1250 | -312 | -78 | -5 | -1 |
编码器 | 光栅周期 | μm | NA | 1280 | 20 |
分辨率 | nm | NA | 1250 | 312 | 78 | 5 | 1 |
精度 | μm | NA | ±10 | ±5 | ±1 |
位移台 | 定位 | 分辨率 =最小步长 =最小增量运动 | nm | 50000 | 1250 | 350 | 80 | 25 |
单向重复定位精度 | nm | ±50000 | ±1250 | ±350 | ±80 | ±25 |
双向重复定位精度 | nm | ±50000 | ±2500 | ±700 | ±160 | ±50 |
速度 | 最大速度 | mm/s | 1000 | 200 | 150 | 25 |
最小速度 | μm/s | 5000 | 5 | 2 | 1 |
稳定度 （@10mm/s） | % | ±10 | ±1 |
机械指标
/ | 单位 | XLS-1-30 | XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 |
尺寸 | 长 | mm | 30 | 40 | 50 | 60 | 70 | 80 | 100 | 120 |
宽 | 34 |
高 | 13 |
行程范围 | 标准臂 | mm | 10 | 25 | 30 | 40 | 45 | 50 | 75 | 100 |
短臂 | 19 | 30 | 38 | 48 | 52 | 69 | 85 | 109 |
重量 | g | 40 | 50 | 63 | 76 | 88 | 105 | 126 | 151 |
负载（有效负载） | Kg | 0.5（1.5可选XLS-3系列） |
负载 （轴承） | 垂直 | N | 237 | 396 | 475 | 633 | 712 | 792 | 990 | 1188 |
水平 | 237 | 396 | 475 | 633 | 712 | 792 | 990 | 1188 |
误差运动
/ | 单位 | XLS-1长度30~70； XLS-3长度40~70； | XLS-1长度80~120； XLS-3长度80~120 |
分辨率 |
| -OPEN -1250 -312 | -78 -5 -1 | -OPEN -1250 -312 | -78 -5 -1 |
直线度 | μm | ±5 | ±1 | ±10 | ±2 |
平整度 | μm | ±5 | ±1 | ±10 | ±2 |
pitch | μrad arcsec | 120 25 | 24 5 | 120 25 | 24 5 |
roll | μrad arcsec | 120 25 | 24 5 | 120 25 | 24 5 |
yaw | μrad arcsec | 60 12.5 | 12 2.5 | 60 12.5 | 12 2.5 |
